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廢水類型：超純水處理

項(xiàng)目示例：無(wú)錫超純水處理工程

設(shè)計(jì)水量：1m3/h

廢水危害：最近幾年超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)有了快速發(fā)展，對(duì)超純水的水質(zhì)提出了更高的要求，超純水中所含雜質(zhì)的允許含量越來(lái)越低，同時(shí)需要控制的雜質(zhì)種類也越來(lái)越多。為了有效去除各種雜質(zhì)，需要各種處理手段的綜合運(yùn)用。

基本流程圖：

通常我們超純水系統(tǒng)分為三部分：預(yù)處理，初級(jí)處理和拋光精制處理。

1.預(yù)處理系統(tǒng)通常由過(guò)濾、殺菌和防氧化工藝組成；

2.初步處理系統(tǒng)主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設(shè)備等組成

3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。

超純水處理主要是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理